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                K-SPEED 等離子體刻←蝕工藝模擬軟件功能概述

                一、K-0DPLASMA軟件概況

                K-0DPLASMA是一種批量等離子體仿真軟【件,采用零維空間方法對等離子體基本屬性實現準確預測。K-0DPLASMA模擬中可綜合考慮在實際環境↓下(包含功率、壓力和氣體流量等因素)等離子處理過程中的離子流、離子入射角、等離子那些天使一族密度等相關參數。


                二、應用範圍

                基於流■體模型實現零維等離子體分析。

                批量等離子體屬性(離子類型、電子密ㄨ度和離子密度信息)和鞘層分♂析。

                準確預測不同環境下的等離子體參數。


                三、K-SPEED軟件概況

                K-SPEED是一種用於模擬等離子體刻蝕也叫恶魔之主輪廓的仿真軟ぷ件,通過綜合考慮對〗幹法刻蝕具有本質影響的物理和化學效應,實現@ 高效求解,準確預測刻蝕輪廓及與其相關的彎曲,頸縮,蝕刻自停止,聚合物鈍化等□現象。


                四、應用範圍

                等離子體刻蝕中晶圓表面那三米反應分析

                三維納米結構〇中離子/中性粒子納米尺度模擬

                等離子體刻→蝕中三維刻蝕輪廓時變預測


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